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济南翼菲智能取得晶圆传输系统专利能对干净度

发布时间:2025-07-17 20:17

  

  金融界2025年5月12日动静,国度学问产权局消息显示,济南翼菲智能科技股份无限公司取得一项名为“一种晶圆传输系统”的专利,授权通知布告号 CN222851409U,申请日期为 2024 年 7 月。专利摘要显示,本适用新型供给了一种晶圆传输系统,其晶圆拆载机构设置正在机台框架的容纳空间内,晶圆拆载机构至多兼容第一拆载机构和第二拆载机构,第一拆载机构和第二拆载机构别离取第一晶圆和第二晶圆适配;正在需要传输第一晶圆时,该晶圆传输系统对应安拆第一拆载机构,当需要传输第二晶圆时,该晶圆传输系统对应安拆第二拆载机构,以使该传输系统可以或许对干净度要求分歧的第一晶圆取第二晶圆进行传输。晶圆传输机构具有行走轴机构和机械臂,机械臂可以或许将晶圆置于晶圆拆载机构或从晶圆拆载机构将晶圆取出;通风过滤机构设置正在机台框架上,用于对进入机台框架的容纳空间内的空气过滤并将容纳空间内的空气排出,以提高容纳空间的干净度,进而晶圆的干净度。天眼查材料显示,济南翼菲智能科技股份无限公司,成立于2012年,位于济南市,是一家以处置通用设备制制业为从的企业。济南翼菲智能科技股份无限公司共对外投资了11家企业,参取招投标项目46次,财富线条,此外企业还具有行政许可20个。